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2020-03-25
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2019-05-20
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2017-10-23
程和平院士来访

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2017-07-18

中国科学院自动化研究所显微分析技术中心面向纳米尺度超微精细结构显微分析的技术前沿，致力于高通量高分辨率超微精细结构三维重建的技术研究和电子/光学显微成像及其数据的分析技术应用。中心拥有纳米尺度超薄切片机，场发射扫描电子显微镜原子力显微镜，等离子刻蚀机等设备40余台套，总资产4000余万元，具有功能完善7间实验室。

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