仪器基本信息

仪器名称

场发射扫描电子显微镜

（2台套）

制造商

JEOL

仪器型号

JSM-7001F

产地

日本

购买及安装时间

2009年

存放地点

模识楼一层115

仪器的用途及性能指标

用途

用于IC及材料类微观形貌获取

分辨率

1.2nm

探测器

BSE及SE双成像通道

技术参数

无漏磁设计，全对中样品台；气锁快速更换样品

选配附件

BRUKER XFlash5010能谱仪

能谱仪参数

电制冷、检测元素范围B5-U92

送样须知及收费标准

送样须知

使用前需与管理员预约

收费标准

见收费标准

说明

对符合电镜观察的样品进行预约，其电镜的使用费用不包含镀膜仪、光学显微镜等设备的使用所发生的费用

成果展示