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仪器基本信息 |
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仪器名称 |
离子束刻蚀机 |
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制造商 |
埃德万斯 |
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仪器型号 |
LKJ150 |
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产地 |
中国 |
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购买及安装时间 |
2016年 |
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存放地点 |
模识楼一层116A |
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仪器的用途及性能指标 |
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用途 |
离子束清洗，材料表面终极抛光和材料减薄等功能 |
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离子源发射口径 |
140毫米 |
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离子源有效束径 |
100〜130毫米 |
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送样须知及收费标准 |
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送样须知 |
使用前需与管理员预约 |
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收费标准 |
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电话：010-82544385
邮编：100190
地址：北京市海淀区中关村东路95号自动化大厦二层
Address:Flr 2, Bldg Zidonghua, No 95, Zhongguancun East Rd, Haidian District, Beijing