场发射扫描电子显微镜
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仪器基本信息 |
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仪器名称 |
场发射扫描电子显微镜 3 台套 |
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制造商 |
ZEISS |
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仪器型号 |
超55 |
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产地 |
德国 |
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购买及安装时间 |
2009年 |
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存放地点 |
模识楼一层112 |
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仪器的用途及性能指标 |
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用途 |
用于材料微观形貌分析和半导体集成电路及器件分析 |
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分辨率 |
为0.8nm @ 15kV的，1.6nm @千伏 |
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放大倍数 |
12-1000kx连续可调 |
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探测器 |
在透镜，ASB，SE2 |
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样品台 |
6轴优中心电动样品台，X = Y =130毫米，Z =50毫米 |
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选配附件 |
ATLAS4，Oxford Incax Act能谱仪 |
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能谱仪参数 |
电制冷，检测元素范围B5-U92 |
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送样须知及收费标准 |
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送样须知 |
对符合电镜观察的样品进行预约，其电镜的使用费用不包含镀膜仪，光学显微镜等设备的使用所发生的费用 |
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收费标准 |
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成果展示 |
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