场发射扫描电子显微镜
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仪器基本信息 |
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仪器名称 |
场发射扫描电子显微镜 （2 台套） |
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制造商 |
日本电子 |
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仪器型号 |
JSM-7001F |
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产地 |
日本 |
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购买及安装时间 |
2009年 |
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存放地点 |
模识楼一层115 |
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仪器的用途及性能指标 |
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用途 |
用于IC及材料类微观形貌获取 |
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分辨率 |
1.2纳米 |
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探测器 |
BSE及SE双成像通道 |
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技术参数 |
无漏磁设计，全对中样品台;气锁快速更换样品 |
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选配附件 |
BRUKER XFlash5010能谱仪 |
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能谱仪参数 |
电制冷，检测元素范围B5-U92 |
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送样须知及收费标准 |
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送样须知 |
使用前需与管理员预约 |
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收费标准 |
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说明 |
对符合电镜观察的样品进行预约，其电镜的使用费用不包含镀膜仪，光学显微镜等设备的使用所发生的费用 |
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成果展示 |
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