等离子体刻蚀机

仪器基本信息

仪器名称

等离子体刻蚀机

制造商

TRION

仪器型号

PHANTOM LT

产地

美国

购买及安装时间

-

存放地点

模识楼一层116A

仪器的用途及性能指标

用途

用于各种样品蚀刻工艺加工

等离子刻蚀射频电源

为13.56MHz，300W

气路气体

SiO 2，Si 3 N 4

刻蚀速率

≥600A/分钟

送样须知及收费标准

送样须知

使用前需与管理员预约

收费标准

见收费标准

 

 

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