仪器基本信息

仪器名称

离子束刻蚀机

制造商

埃德万斯

仪器型号

LKJ150

产地

中国

购买及安装时间

2016年

存放地点

模识楼一层116A

仪器的用途及性能指标

用途

离子束清洗，材料表面终极抛光和材料减薄等功能

离子源发射口径

140毫米

离子源有效束径

100〜130毫米

送样须知及收费标准

送样须知

使用前需与管理员预约

收费标准

见收费标准

 

 

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