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仪器基本信息 |
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仪器名称 |
原子力显微镜 |
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制造商 |
布鲁克 |
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仪器型号 |
Dimension EDGE |
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产地 |
德国 |
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购买及安装时间 |
2016 年 |
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存放地点 |
模识楼一层107 |
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仪器的用途及性能指标 |
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用途 |
表征分析和膜厚/台阶测量，样品表面形貌高分辨率成像 |
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分辨率 |
可持续稳定获得埃级尺寸分辨率 |
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扫面点数 |
最大5K×5K |
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扫面方式 |
采用样品扫描的高分辨扫描方式，扫描管驱动样品扫描，探针支架，探针及激光头在扫描过程中保持位置恒定 |
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样品尺度 |
150×150×15mm （ x， y， z） |
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扫描范围 |
最大：为125μm×125μm的×5μm的 |
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可选附件 |
3D 图像处理及分析软件 |
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送样须知及收费标准 |
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送样须知 |
使用前需与管理员预约 |
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收费标准 |
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成果展示 |
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