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仪器基本信息 |
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仪器名称 |
高真空镀膜仪 |
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制造商 |
徕卡 |
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仪器型号 |
EM ACE-600 |
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产地 |
德国 |
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购买及安装时间 |
2017年年 1月 |
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存放地点 |
模识楼一层112 |
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仪器的用途及性能指标 |
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用途 |
用于增加不导电样品的表明导电性能，使其满足扫描电子显微镜成像或X-射线能谱，分析波谱的工作需求 |
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镀膜精度 |
内置石英膜厚检测器，精确控制镀膜厚度，精度为0.1nm |
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离子溅射 |
金属铂靶材，溅射电流15-150mA连续可调，厚度 1-1000nm |
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脉冲蒸发 |
碳丝蒸发，镀膜厚度1-100nm |
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样品台 |
配备行星式样品台及多孔钉台，确保镀膜厚度均匀 |
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送样须知及收费标准 |
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送样须知 |
使用前需与管理员预约 |
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收费标准 |
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说明 |
镀膜仪使用不包含使用光学显微镜，扫描电子显微镜等设备的费用，如需使用按照实际发生费用收取 |
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电话：010-82544385
邮编：100190
地址：北京市海淀区中关村东路95号自动化大厦二层
Address:Flr 2, Bldg Zidonghua, No 95, Zhongguancun East Rd, Haidian District, Beijing