1-Leica EM SCD005冷溅射镀膜仪（1台套）

仪器基本信息仪器名称冷溅射镀膜仪制造商Leica仪器型号EM-SCD005产地德国购买及安装时间2015年存放地点模识楼一层104仪器的用途及性能指标用途增加样品导电性，提升电镜成像质量金属靶材镀Au、Pt碳丝靶材蒸碳送样须知及收费标准送样须知使用前需与管理员预约收费标准见收费标准说明镀膜仪使用不包含使用光学显微镜、扫描电子显微镜等设备的费用，如需使用按照实际发生费用收取

2-Leica EM ACE-600高真空镀膜仪 (1台套)

仪器基本信息仪器名称高真空镀膜仪制造商Leica仪器型号EMACE-600产地德国购买及安装时间2017年1月存放地点模识楼一层112仪器的用途及性能指标用途用于增加不导电样品的表明导电性能，使其满足扫描电子显微镜成像或X-射线能谱、波谱分析的工作需求镀膜精度内置石英膜厚检测器，精确控制镀膜厚度，精度0.1nm离子溅射金属Pt靶材，溅射电流15-150mA连续可调，厚度1-1000nm脉冲蒸发碳丝

3-OLYMPUS MX61-DUV深紫外光学显微镜（1台套）

仪器基本信息仪器名称深紫外光学显微镜制造商OLYMPUS仪器型号MX61-DUV产地日本购买及安装时间-存放地点模识楼一层112仪器的用途及性能指标用途光学显微图像获取，具备光电联合显微成像技术分辨率80nm可实现放大倍数25x\50x\100x\200x\500x\1000x\1500x技术参数具有高精度x/y/z电控步进平台，五百万像素彩色高速CCD，可自动采集图像，具备图像拼接能力送样须知及

4-Zeiss Supra-55场发射扫描电子显微镜+ATLAS （2台套）

仪器基本信息仪器名称场发射扫描电子显微镜3台套制造商ZEISS仪器型号Supra55产地德国购买及安装时间2009年存放地点模识楼一层112仪器的用途及性能指标用途用于材料微观形貌分析和半导体集成电路及器件分析分辨率0.8nm@15kV，1.6nm@1kV放大倍数12-1000kx连续可调探测器In-lens，AsB，SE2样品台6轴优中心电动样品台，X=Y=130mm，Z=50mm选配附件ATL

5-Zeiss Supra-55场发射扫描电子显微镜+ATLAS+OXFORD INCA X-ACT能谱仪 （1台套）

场发射扫描电子显微镜仪器基本信息仪器名称场发射扫描电子显微镜3台套制造商ZEISS仪器型号Supra55产地德国购买及安装时间2009年存放地点模识楼一层112仪器的用途及性能指标用途用于材料微观形貌分析和半导体集成电路及器件分析分辨率0.8nm@15kV，1.6nm@1kV放大倍数12-1000kx连续可调探测器In-lens，AsB，SE2样品台6轴优中心电动样品台，X=Y=130mm，Z=5